ULTRA PLUS场发射扫描电子显微镜的日常维护及故障排除
Daily Maintenance and Common Troubleshooting Methods of ULTRA PLUS Field Emission Scanning Electron Microscope
摘 要
以德国蔡司ULTRA PLUS扫描电子显微镜为例, 从环境条件、光学系统、真空系统及附件设施4个方面总结分析了场发射扫描电子显微镜的日常维护保养方法和故障排除方法。以期解决扫描电子显微镜的日常维护和常见的故障排除问题, 降低电镜维护保养成本, 延长使用寿命。
日常维护
故障排除
scanning electron microscope
daily maintenance
troubleshooting
Abstract
The daily maintenance and common troubleshooting methods of scanning electron microscope (SEM) were summarized from four aspects including environment condition, optical system, vacuum system and accessory facilities, on the basis of Zeiss ULTRA PLUS field emission scanning electron microscope. The main aim was to solve the daily maintenance and common troubleshooting problems and then reduce the maintenance cost, extend service life.
中图分类号 TG115.21+5.3
所属栏目 试验设备及应用
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收稿日期 2014/4/3
修改稿日期
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备注曹艳芬(1982-), 女, 工程师, 硕士。
引用该论文: CAO Yan-fen,SONG Qing-jun,LU Hui-fen,SUN Qiu-xiang. Daily Maintenance and Common Troubleshooting Methods of ULTRA PLUS Field Emission Scanning Electron Microscope[J]. Physical Testing and Chemical Analysis part A:Physical Testing, 2015, 51(1): 49～51
曹艳芬,宋庆军,卢慧粉,孙秋香. ULTRA PLUS场发射扫描电子显微镜的日常维护及故障排除[J]. 理化检验－物理分册, 2015, 51(1): 49～51
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参考文献
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