干刻蚀机零件锈蚀原因分析
Analysis on Corrosion Cause of Dry Etched Machine Parts
摘 要
运用宏观和微观分析,并通过模拟试验对干刻蚀机的部分零件锈蚀的原因进行了分析.结果表明：零件锈蚀为潮湿大气所致;部分零件镀层质量不良导致耐腐蚀性能下降,从而加速了锈蚀的产生.
零件
锈蚀
大气
耐腐蚀性
dry etched machine
part
corrosion
atmosphere
corrosion resistance
Abstract
Corrosion cause of some parts of a dry etched machine was analyzed by means of macroscopic observation, microscopic examination and simulation test.The results showed that the corrosion was caused by wet atmosphere.And the poor coating quality of some parts reduced to corrosion resistance and accelerated the corrosion of the parts.
中图分类号 TG172.3
所属栏目 质量控制与失效分析
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收稿日期 2014/7/22
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备注彭小钢(1959-),男,高级工程师.
引用该论文: PENG Xiao-gang,CAO Biao. Analysis on Corrosion Cause of Dry Etched Machine Parts[J]. Physical Testing and Chemical Analysis part A:Physical Testing, 2015, 51(5): 358～360
彭小钢,曹标. 干刻蚀机零件锈蚀原因分析[J]. 理化检验－物理分册, 2015, 51(5): 358～360
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参考文献
【1】杨传铮.材料分析中合理使用各种试验方法[J].理化检验-物理分册,2012,48(4):279-282.
【2】杨传铮.材料分析中合理使用各种试验方法(续)[J].理化检验-物理分册,2012,48(5):345-349.
【3】化学工业部化工机械研究院.腐蚀与防护手册腐蚀理论·试验及监测[M].北京:化学工业出版社,1997:141-143.
【4】中国腐蚀与防护学会.自然环境的腐蚀与防护大气·海水·土壤[M].北京:化学工业出版社,1997: 14-20,141-143.
【5】张升达,王如星.镀铬层耐蚀性能的探讨[C]//天津市电镀工程学会第九届学术年会论文集.天津:天津市电镀工程学会,2002:86-88.
【2】杨传铮.材料分析中合理使用各种试验方法(续)[J].理化检验-物理分册,2012,48(5):345-349.
【3】化学工业部化工机械研究院.腐蚀与防护手册腐蚀理论·试验及监测[M].北京:化学工业出版社,1997:141-143.
【4】中国腐蚀与防护学会.自然环境的腐蚀与防护大气·海水·土壤[M].北京:化学工业出版社,1997: 14-20,141-143.
【5】张升达,王如星.镀铬层耐蚀性能的探讨[C]//天津市电镀工程学会第九届学术年会论文集.天津:天津市电镀工程学会,2002:86-88.
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