韧性基体上硬质涂层的扫描电镜截面样品制备方法
A PREPARATION METHOD OF CROSS-SECTIONAL SEM SAMPLES OF HARD COATINGS ON DUCTILE SUBSTRATE
摘 要
以不锈钢表面涂覆AlN/SiO2纳米多层涂层样品为例,介绍了一种制备韧性基体硬质涂层的截面扫描电子显微镜观察样品的方法,取得了较好的效果。
硬质涂层
韧性基体
Cross-sectional SEM sample
Hard coating
Ductile substrate
Abstract
Taken the preparation of stainless steel with AlN/SiO2 nano multilayered coating sample as an example,a preparation method of cross-sectional SEM sample of hard coatings on ductile substrate,was introduced,the effect was satisfactory.
中图分类号 TG115.21+1.2
所属栏目 试验技术与方法
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收稿日期 2007/1/26
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备注乌晓燕(1983- ),女,硕士研究生。
引用该论文: WU Xiao-yan,DAI Jia-wei,LI Ge-yang. A PREPARATION METHOD OF CROSS-SECTIONAL SEM SAMPLES OF HARD COATINGS ON DUCTILE SUBSTRATE[J]. Physical Testing and Chemical Analysis part A:Physical Testing, 2007, 43(10): 512～513
乌晓燕,戴嘉维,李戈扬. 韧性基体上硬质涂层的扫描电镜截面样品制备方法[J]. 理化检验－物理分册, 2007, 43(10): 512～513
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参考文献
【1】赵文济,孔 明,黄碧龙,等.SiO2的赝晶化及AlN/SiO2纳米多层膜的超硬效应［J］.物理学报,2007,56(3):322-328．
【2】魏 仑,梅芳华,邵 楠,等.TiN/SiO2纳米多层膜的晶体生长与超硬效应［J］.物理学报,2005,54(4):1742-1748．
【3】劳技军,孔 明,张惠娟,等.TiN/SiC纳米多层膜的生长结构与力学性能［J］.物理学报,2004,53(6):1961-1966．
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