辉光放电光谱法定量分析金属材料表面纳米级薄膜的研究
STUDY OF ANALYSIS OF NANO FILM ON METAL SURFACE BY GLOW DISCHARGE EMISSION SPECTROMETRY
摘 要
介绍了利用辉光放电光谱法分析金属材料表面的纳米级薄膜.通过优化辉光光源的放电参数,计算标准样品的溅射率.溅射率经校正后,建立各元素的标准工作曲线,从而形成了纳米级薄膜的定量表面分析方法.试验证明,此方法对膜厚的测定具有很好的准确度和精密度,可应用于多种金属材料表面纳米级薄膜的研究.
纳米级薄膜
表面分析
Glow discharge emission spectrometry
Nano film
Surface analysis
Abstract
A method of glow discharge (GD) emission spectrometry for the analysis of nano film on metal surface was discribed in this paper.Analytical parameters of the GD source were optimized.The sputtering yield was experimentally determined for establishing corrected calibration curves.It was experimentally verified that the proposed method has good accuracy and precision in film thickness determination.The method has been applied to the analysis of nano film on the surface of several metal meterials.
中图分类号 O657
所属栏目 试验与研究
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收稿日期 2005/9/27
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备注何晓蕾(1981-),女,江苏句容人,硕士研究生,从事分析测试方法的研究工作.
引用该论文: HE Xiao-lei,ZHANG Yi,LAN Min-bo,CHEN Ying-ying,WU Jun-fei,WANG Yan-ping. STUDY OF ANALYSIS OF NANO FILM ON METAL SURFACE BY GLOW DISCHARGE EMISSION SPECTROMETRY[J]. Physical Testing and Chemical Analysis part B:Chemical Analysis, 2006, 42(9): 693～697
何晓蕾,张毅,蓝闽波,陈英颖,邬君飞,王艳萍. 辉光放电光谱法定量分析金属材料表面纳米级薄膜的研究[J]. 理化检验－化学分册, 2006, 42(9): 693～697
被引情况:
【1】邓军华,于媛君,戚淑芳,梁慧智,曹新全,李化, "直流辉光原子发射光谱法测定合金钢中16种元素含量",理化检验－化学分册 46, 943-945(2010)
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参考文献
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【2】钱苗根.现代表面技术[M].北京:机械工业出版社出版,1999．
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【4】陈国光,曹婉真.电解电容器[M].西安:西安交通大学出版社,1993．
【5】Shimizu K,Kobayashi K.Grraotu of gamma almina in thermal oxidation film of aluminum surf finish[J].Soc Jpn,1995,46:402．
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