分子直径法计算相对校正因子在气相色谱法测定三氯氢硅含量中的应用
Calculation of Relative Correction Factor by Molecular Diameter Method as Applied to GC Determination of Trichlorosilane
摘 要
在气相色谱法测定三氯氢硅含量中,采用分子直径法,以四氯化硅为标准物,计算氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅在热导检测器上的相对校正因子,并以氦气为载气,测定三氯氢硅对四氯化硅的相对质量校正因子。未采用分子直径法得到的相对质量校正因子为0.891,采用分子直径法得到的相对质量校正因子为0.915,两者相对误差为1.13%。
气相色谱法
三氯氢硅
相对校正因子
Molecular diameter method
GC
Trichlorosilane
Relative mass correction factor
Abstract
Relative correction factors for hydrogen chloride, dichlorosilane and trichlorosilane used in TCD in GC-determination of trichlorosilane were calculated by molecular diameter method with silico tetrachloride as reference material, and relative mass correction factor for trichlorosilane referring to silicon tetrachloride was determined using helium as carrier gas. Values of relative mass correction factor obtained with and without using the molecular diameter method were 0.915 and 0.891 respectively, giving value of relative error of 1.13%.
中图分类号 O657.7 DOI 10.11973/lhjy-hx201602014
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收稿日期 2015/2/24
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备注于晓艳(1986-),女,云南保山人,工程师,主要从事多晶硅分析。
引用该论文: YU Xiao-yan,TAO Ming,ZUO Shi-fang,YANG Hong-yan,LI Ya-na,ZHANG Yong-feng,ZHAO Jian-wei. Calculation of Relative Correction Factor by Molecular Diameter Method as Applied to GC Determination of Trichlorosilane[J]. Physical Testing and Chemical Analysis part B:Chemical Analysis, 2016, 52(2): 183～186
于晓艳,陶明,左世芳,杨红燕,李亚娜,张永凤,赵建为. 分子直径法计算相对校正因子在气相色谱法测定三氯氢硅含量中的应用[J]. 理化检验－化学分册, 2016, 52(2): 183～186
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参考文献
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