扫描电镜系统辅助设备的故障分析及维护保养
Fault Analysis and Maintenance of Auxiliary Equipment in Scanning Electron Microscopy System
摘 要
介绍了扫描电镜系统的各辅助设备常见的故障及解决办法。检验管理人员做好各辅助设备的维护保养，了解各设备的故障点，能够快速、低成本地解决故障问题，有效保障测试工作的正常进行。
辅助设备
故障分析
维护保养
scanning electron microscopy
auxiliary equipment
fault analysis
maintenance
Abstract
The common faults and solutions of the auxiliary equipment of scanning electron microscopy system were introduced. The inspection management personnel shall do a good job in the maintenance of auxiliary equipment, understand the fault points of each equipment, can quickly solve the fault problems with low cost, and effectively ensure the normal operation of the test work.
中图分类号 TH89 DOI 10.11973/lhjy-wl202102013
所属栏目 试验设备及应用
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收稿日期 2020/3/17
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备注孙秋香(1984-),女,高级工程师,主要从事材料分析测试工作,sqx_123456@163. com
引用该论文: SUN Qiuxiang,LU Huifen,SONG Qingjun,SONG Peng. Fault Analysis and Maintenance of Auxiliary Equipment in Scanning Electron Microscopy System[J]. Physical Testing and Chemical Analysis part A:Physical Testing, 2021, 57(2): 54～56
孙秋香,卢慧粉,宋庆军,宋鹏. 扫描电镜系统辅助设备的故障分析及维护保养[J]. 理化检验－物理分册, 2021, 57(2): 54～56
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参考文献
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