%0 Journal Article
%T 同时制备多个透射电镜截面试样的离子减薄方法
%O Ion thinning method for simultaneous preparation of multiple TEM cross-section samples
%A 张革
%A 崔云
%A 赵娇玲
%A 王涛
%A 赵元安
%J 理化检验－物理分册
%@ 1001-4012
%V 59
%N 10
%D 2023
%P 27-29
%K 透射电镜;薄膜;离子减薄;试样制备
%X 试样制备是透射电镜表征的关键,而传统的离子减薄方法效率低下,难以满足大批量的测试需求。以单晶硅基底上沉积的极紫外多层膜为例,介绍了一种同时制备多个透射电镜截面试样的离子减薄方法。结果表明:该方法不仅缩短了离子减薄的时间,还缩短了透射电镜装取试样与抽真空的时间。
%R 10.11973/lhjy-wl202310006
%U http://www.mat-test.com/abstract.htm?aid=OJ231030000029nTpWsZ
%W 材料与测试网
%1 JIS Version 3.0.0