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沉积温度对铝化物涂层相结构与微观形貌的影响
          
Influence of Deposition Temperature on the Phase Structureand Morphology of Aluminide Coatings

摘    要
采用化学气相沉积技术在四种不同沉积温度下制备了铝化物涂层,采用X-射线衍射仪、扫描电子显微镜和能谱仪研究了不同沉积温度下涂层的相结构、微观形貌和成分。结果表明,涂层的相结构、微观形貌和成分受沉积温度的影响明显。沉积温度越高,涂层越趋于形成均质的β-NiAl相,涂层表面多边形网格状形貌越均匀,网格内晶粒生长越密实。扩散区内富集大量的铬、钼和钨元素,其相应的析出物会形成扩散障碍层。
标    签 化学气相沉积   铝化物   温度   相结构   微观形貌   chemical vapor deposition(CVD)   aluminde   temperature   phase structure   morphology  
 
Abstract
Four types of aluminide coatings were fabricated by chemical vapor deposition(CVD)at differentdeposition temperatures(950 ℃,985 ℃,1020 ℃ and 1050 ℃).X-ray diffraction(XRD),scanning electronmicroscopy(SEM)and energy dispersive spectroscopy(EDS)were used to investigate the phase structure,morphology and composition of the aluminide coatings.The results show that the phase structure,morphology andcomposition of the aluminide coatings are strongly influenced by the deposition temperature during CVD.The higherthe deposition temperature,the easier the formation of pureβ-NiAl phase.With the increase of the depositiontemperature,the surface of the coatings became smooth and dense,while the ridges along grain boundariesapproached to be flat in a certain extent.Large numbers of elements of Cr,Mo and W within diffusion zone can forma thin film layer as diffusion barrier.

中图分类号 TG 174.44

 
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所属栏目 试验研究

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收稿日期 2013/6/9

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备注许振华,高级工程师,博士,

引用该论文: XU Zhen-hua,DAI Jian-wei,NIU Jing,HE Li-min,MU Ren-de,WANG Kai. Influence of Deposition Temperature on the Phase Structureand Morphology of Aluminide Coatings[J]. Corrosion & Protection, 2013, 34(11): 991


被引情况:


【1】任鑫,玄兹航,曹丹凤,孔令梅,朱鹤, "NiCr-CrAl涂层的高温氧化行为",机械工程材料 39, 16-19(2015)



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