以我个人的理解,TEM在样品以上的部分就是一个没有扫描功能的SEM,是传统的三聚光镜双交叉斑设计:
样品以下是多级的投影透镜摞在一起,起到对真实图像逐级放大的作用;很类似于将6个投影仪接力工作;
除了电磁聚焦线圈组,TEM镜筒中也有其他镜筒的传统组成部分例如各级光阑,各级配套的极靴,和对中和消像散偏转线圈组等,SEM中的扫描线圈组这里是没有的;
真空系统由两极油扩散泵和前级泵组成,真空密封主要由橡胶圈密封完成。镜筒的制冷由循环水冷系统完成。
电子枪是钨灯丝枪,由于是陶瓷结构,无法线切割展示,这是唯一遗憾的地方。
借花献佛,除了这台退役的透射电镜,金属所还拥有数十台不同电子显微镜和其他成像及分析仪器,欢迎电镜爱好者到沈阳金属所参观学习!
来源:任辛 微信公众号